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自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G5是奥地利Alicona公司研发生产的集微型三坐标测量和表面形貌测量于一体的光学测量系统。
自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G5的突出特点：
- 一款全方位的3D光学测量仪
- InfiniteFocus G5整合了微型三坐标测量系统和表面粗糙度测量系统所有的功能。
- 万能和高效
- LED环形灯的设计，使表面测量的范围几乎不受限制。
- 高分辨，高可重复性和可溯源
- 即使对于复杂样品表面，仍可以获得高达10纳米的垂直分辨率
- 高测量速度
- InfiniteFocus的测量速度可以达到170万点/秒。
- 模块化和可扩展性
- 新的功能可以很容易通过扩展测量模式整合全自动
- 测量简单且自动化程度高，如自动更换物镜等
主要技术参数： 位移范围（X轴、Y轴、Z轴）：100mm×100mm×100mm 样品表面结构：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2μm，取决于表面结构 最大样品高度：100mm ～ 345mm 最大样品重量：30kg 最佳水平分辨率：0.44μm 最佳垂直分辨率：10nm 最大扫描高度：22.5mm 最大扩展视野范围：10000mm2 最大单一方向扫描范围：100mm 测量速度:170万个测量点/秒 量高度：0.01μm~22.5mm 最大测量范围：10000mm2 最大测量形貌长度：100mm 最小可重复性：0.001μm 最小测量粗糙度（Ra）：0.03μm 最小测量粗糙度（Sa）：0.015μm 最小测量半径：1μm 最小测量垂直角度：20° 最大测量倾斜角度：87°