变形与开裂是由于工件淬火时产生的内应力而引起的。淬火时产生的内应力有两种：一种是工件在加热或冷却时因工件表面与心部的温差引起胀缩不同步而产生的，称为热应力；另一种是工件在淬火冷却时，因工件表面与心部的温差使马氏体转变不同步而产生的，称为组织应力。
当淬火工件的内应力超过工件材料的屈服极限时，则导致变形；若超过强度极限时，则导致开裂。防止变形和开裂的根本措施就是减少内应力的产生。在生产中可采取下列措施。
(1) 合理设计工件结构。厚薄交界处平滑过渡，避免出现尖角；对于形状复杂、厚薄相差较大的工件应尽量采用镶拼结构；防止太薄、太细件的结构。
(2) 合理选用材料。形状复杂、易变形和开裂或要求淬火变形极小的精密工件选用淬透性好的材料。
(3) 合理确定热处理技术条件。用局部淬火或表面淬火能满足要求的，尽量避免采用整体淬火。
(4) 合理安排冷、热加工工序。工件毛坯经粗加工后去除表面缺陷，可减少淬火处理产生的裂纹。
(5) 应用预先热处理。对机加工应力较大的工件应先去应力退火后再进行淬火；对高碳钢工件预先进行球化退火等。
(6) 采用合理的热处理工艺。对形状复杂易变形工件用较慢速度加热；高合金钢采用多次预热；在满足硬度的前提下，尽可能选用冷却速度较慢的介质进行淬火冷却。
(7) 淬火后及时进行回火。