直线电机驱动平台的定位精度

大家好，由于需要设计一个精密滑台，直线电机驱动，闭环控制，加光栅尺，或者磁栅尺检测。如果要求定位精度达到2μm，不知参数应该怎么选？
除了安装等误差外，是不是精度的主要影响因素和检测元件以及控制精度有关啊？不知道他们的精度达到多少，才能满足2μm的要求。
希望有人帮我解答一下，先谢谢了。
离问题结束还有

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不大容易达到这个精度哦