催化剂通常可以使用数年，长时间使用后会有一些硅酮、重质烃类及颗粒物覆盖其表面，使其活性下降。故催化剂焚烧炉宜用来处理净化后的VOCS气体。在使用对温度较敏感的催化剂时，必须设计保护装置，以免温度高破坏催化剂活性。当待处理的VOCS气体中有氯化物存在时，宜选用可耐受氯的催化剂。
催化焚烧VOCS技术致力寻求开发出耐受性强、活性降低缓慢的新型催化剂。最近，美国开发出氧化铬氧化铝球型催化剂，可将加利福尼亚某空军基地含三氯乙烯(TCE)浓度达到(12)的VOCS气体焚烧掉，TCE的破坏率达97.5。
蓄热式热力焚烧炉蓄热式热力焚烧炉在设计上采用陶瓷热交换固定床(CHEB)，以便更多的回收燃烧后气体携带的热能。含VOCS的气体在进入燃烧炉之前首先进入CHEB进行预热，预热后的VOCS气体进入燃烧炉在规定的温度下燃烧，燃烧后由燃烧炉排出的热烟气进入另一个CHEB，其所携带的热能被CHEB吸收和存储，用来预热下个循环时进入燃烧炉的含VOCS气体。这种多个CHEB系统可以回收95的热能。低浓度的VOCS气体在采用CHEB时，只需极少的辅助燃料即可使VOCS彻底燃烧掉，从而大大节省运行费用。
