1）参数测量仪表：渗氮炉应设置电压、电流、温度、真空度和气体流量等参数的测量指示仪表。温度应能自动控制和记录。
2）阴极对地的绝缘电阻：在非真空状态下用1KV兆欧表测量应不低于4MΩ，水冷阴极应在不通水的条件下进行测量。
3）供给离子渗氮炉的整流输出电压：电压应连续可调，在200V以上无突跳现象。
4）极限真空度：应不低于6.7Pa。
5）抽真空时间：在空炉冷态下由常压抽到极限真空度所需的时间应不大于30min。
6）压升率：应不大于1.3×10－1-1Pa/min。
7）工作真空度：在合理的供气流量下，真空泵应保证所要求的工作真空度在66.7～1066Pa范围内的动态平衡。
8）灭弧装置：渗氮炉应有可选的灭弧装置。
