电铸铜典型的工艺规范及其性能

原则上，用于电镀铜的溶液均可用于电铸铜，但常用的是硫酸盐溶液。它具有成分简单、易操作控制、成本低的优点。氟硼酸盐溶液具有成分简单、对杂质不敏感、易操作控制、可使用高电流密度的优点，但成本高、溶液腐蚀性强而较少应用。其典型的工艺规范及所得铜层的性能见下表。

   也可以采用焦磷酸盐电镀铜的溶液进行电铸铜。这种溶液比前两种溶液分散能力好，可得到结晶比较细微的铜层。