目前，电火花线切割机床结构更加精密，为了保证高精度的加工，采用了许多技术措施来提高主机精度：控制温度。采用水温冷却装置，使机床内部温度与水温相同，减小了机床的热变形。采用直线电机。响应度高，精密定位可实现0.1m当量的控制，进给无振动，无噪音，提高放电频率，保持稳定放电，两次切割Ry5m。采用陶瓷、聚合物人造花岗岩制件，其热惯性比铸铁大25倍，降低温度变化对切割精度的影响。
采用固定工作台、立柱移动结构，提高工作台承重，不受浸水加工和工件重量变化的影响。采用浸入式加工，降低工件热变形。电机伺服，闭环电极丝张力控制。高精度对刀：采用电压调制对刀电源。对刀精度可达±0.005mm，不损伤工件，不论干湿。
