德国莱宝真空泵COOLVAC系列低温泵是气体捕集泵，它的工作原理包括低温冷凝、低温吸附和低温捕获。
德国莱宝真空泵COOLVAC系列低温泵的抽速从800到60000升/秒(对氮气)，共分七个规格，可用于产生高真空和超高真空，10-13～10-11mbar。
德国莱宝真空泵COOLVAC系列低温泵的主要特点有：
·与相同口径的其他泵比较，德国莱宝真空泵COOLVAC系列低温泵具有最大的抽速。对水蒸气抽速极大。
·无碳氢化合物的污染，可以用来产生洁净的高真和超高真空。
·只有在低温泵启动和再生时才需要前级泵。
·德国莱宝真空泵COOLVAC系列低温泵的MULTIPLE运行方式可以允许两台或两台以上的低温泵同时工作，而共用一台压缩机。
·德国莱宝真空泵COOLVAC系列所有低温泵全部装有安全阀，如发生如断电等意外，当泵内压力超过大气压150mbar时，安全阀自动打开。
德国莱宝真空泵COOLVAC系列低温泵采用的是电加热、全程自动控制的再生方式。它的主要优点有：
1、电加热的再生方式无需氮气，其运行成本比吹氮气的再生方式低60%；
2、在德国莱宝真空泵COOLVAC系列低温泵的再生过程中，温度自第二级冷头向第一级冷头逐渐升高，气体依次排出，避免了吹氮气再生中气体同时放出后产生腐蚀性或危险性气体的可能(如H2和O2，H2O和CO2)；
3、自动控制器在再生全过程中对泵内压力及温度分布进行自动控制；
4、再生迅速，耗时小于40分钟；
5、再生彻底，经50次快速再生后才需要一次完全再生。而其他的低温泵每次进行5次快速再生后就要进行一次完全再生。
