InfiniteFocus SL三维表面形貌测量仪由奥地利Alicona公司研发并生产,操作原理是新型全自动变焦(Focus-Variation)技术,该技术是光学系统的小景深和垂直扫描相结合。
InfiniteFocus SL是一款经济型、用于实验室研究和生产控制的光学三维表面形貌测量仪。InfiniteFocus SL除可以测量形貌及微观结构的表面外,还可以测量部件的粗糙度。完美的机身框架和智能的光源使InfiniteFocus SL的测量更快速,更容易。
优 势:InfiniteFocus SL测量速度快、稳定性强,而且经济实惠。超过33mm的超长工作距离及50X50mm测量范围使它拥有了极宽的应用范围,测量可以在几秒钟内完成。
应 用:应用范围从刀具工业的刃口测量到质量保证及微观结构的表面刃口测量。InfiniteFocus SL应用于汽车、航天、模具、刀具、机械加工等制造企业。
技术参数
自动变焦三维表面测量仪 InfiniteFocus SL的主要技术参数: | |
位移范围(X轴、Y轴、Z轴) | 50mm X 50mm X 155mm |
样品表面结构 | 表面形貌Ra>9nm,Lc=2μm,取决于表面结构 |
最大样品高度 | 155mm |
最大样品重量 | 4kg |
最佳水平分辨率 | 0.44μm |
最佳垂直分辨率/最小测量高度 | 20nm |
最大扩展视野范围 | 2500mm2 |
最大单一方向扫描范围/最大测量形貌长度 | 50mm |
测量速度 | 170万个测量点/秒 |
最大测量高度 | 25mm |
最小可重复性 | 0.001um |
最小测量粗糙度(Ra) | 80nm |
最小测量粗糙度(Sa) | 50nm |
最小测量半径 | 2um |
最小测量垂直角度 | 20° |
最大测量倾斜角度 | 87° |
Profile Roughness (Ra=500nm) | U = 40nm, σ = 2nm |
Area Roughness (Ra=500nm) | U = 30nm, σ = 2nm |