电火花线切割加工机床的夹具比较简单，一般是在工作台上采用压板螺钉固定工件。为了适应各种形状工件加工的需要，还可使用磁性夹具、旋转夹具或分度夹具等。工件装夹的形式对加工精度有直接影响。
电火花线切割加工工件产生变形的主要形式有：切缝闭合变形、切缝张开变形、未淬火工件张口变形、淬火工件切割后开口变小、尖角处开裂、凹模中间部位宽度变小等。所以，加工时应注意以下问题。
1)当从坯料外直接切入切割凸模时，因材料应力不平衡产生变形(如张口或闭口变形)，以致影响工件的加工精度。所以在切割凸模时，应在坯料上钻出切割凸模起点的穿丝孑L。当不便于在凸模外钻起点穿丝孔时，改变切割路线及夹压位置，也可减小或避免变形对切割工件尺寸精度的影响。若把切割路线中所对应的夹压工件的位置设为最后一条程序，则在切割过程中产生的变形对凸模尺寸精度的影响可降低很多。
2)对于面积较大的凹模，加工时需要切去较多的实体部分，即：切去了框内较大的体积，这样会使应力变化很大，容易产生变形甚至开裂。对于这种凹模，应在淬火前将中部镂空，给线切割留2～3mm的余量，可有效地减小切割时产生的应力。
3)对整体淬火后线切割加工时易变形、开裂工件，热处理时在确保硬度的情况下，应尽可能使用较低的淬火温度和较缓慢的加热和冷却速度，以减小应力。线切割加工后可再进行180～200℃，4h的回火，以达到减小应力和稳定金相组织的目的。
4)凹模的尖角处易产生应力集中，导致切割中开裂。因此，应在尖角处增设适当大小的工艺圆角，以缓和应力集中。这一点对大型凹模的加工尤为重要。
5)有的工件在采取某些措施后仍有一些变形。为了满足工件的精度要求，可改变一次切割到尺寸的传统习惯，改为粗、精二次切割，使粗切后的变形量在精切时被修正，粗切后为精切留的余量约0.5mm左右。这种办法多用于形状复杂、易于产生变形的模具，或要求精度高、配合问隙小的模具。
