超声波抛光是超声波加工的一种特殊应用，超声波抛光是利用工具端面作超声频振动，迫使磨料悬浮液对硬脆材料表面进行加工的一种方法。它对工件只进行微量尺寸加工，加工后能提高表面精度。超声波抛光不但可减小工件表面粗糙度，甚至可得到近似镜面的光亮度。
超声波抛光基本原理
超声波抛光的作用是降低表面粗糙度。超声波抛光的主要作用是磨料在超声振动下的机械撞击和抛磨。抛光时，抛光工具和工件之问加入由磨料和工作液组成的磨料悬浮液，并使抛光工具对工件保持3—5N的静压力，推动抛光工具以10—30次/min的频率作平行于工件表面的往复运动，换能器通入50Hz的交流电，产生16 0001~{z以上的超声频纵向振动，并借助变幅杆3把位移振幅放大到0.05～0.1mm左右，驱使抛光工具端面作超声振动，迫使工作液中的悬浮磨料以很大的速度和加速度不断地撞击、抛磨被加工表面，使被加工表面的材料不断遭到破坏，并粉碎成很细的微粒，从材料上打击下来，实现微切削作用。
所谓空化作用是当产生正面冲击时，促使工作液钻入被加工表面的微裂处，加速了机械破坏作用。在高频振动的某一瞬问，工作液又以很大的加速度离开工件表面，工件表面的微细裂纹间隙形成负压和局部真空。同时在工作液内也形成很多微空腔，当工具端面以很大的加速度接近工件表面时，迫使空泡闭合，引起极强的液压冲击波，强化了加工过程。
超声波抛光的特点 .
1)适用于加工硬脆材料及不导电的非金属材料。
2)抛光工具对工件的作用力和热影响小，不会产生变形、烧伤和变质层，表面的加工量非常微小，加工精度可达0.01—0.02mm，表面粗糙度尺。可达0.012汕m。
3)可以抛光薄壁、薄片、窄缝及低刚度零件。
4)超声波抛光设备简单，使用和维修方便，操作容易，效率高。
5)由于抛光时工具头无旋转运动，工具头可以用软材料做成复杂形状，可以抛光复杂的型孔和型腔表面。
超声波抛光工艺
(1)抛光余量
模具成形表面经过电火花精加工之后，进行超声波抛光时的抛光余量一般控制在0.02～0.04mm之内，特殊情况下抛光余量可小于或等于0.15mm。
(2)抛光方式
抛光一般要经过粗抛、细抛和精抛几个阶段。粗抛光时采用固定磨料或采用180。左右的磨料进行抛光;细抛光时采用游离磨料方式，磨料粒度为W40左右;最后精抛光时采用W5～W3.5的磨料进行干抛(不加工作液)。每次更换磨料时，都应该将工具头和抛光表面清洗干净。
