以PVD技术开发的陶瓷硬膜的种类日渐增多，包括氮化钛、碳氮化钛、碳化钛、氧化铝、类钻膜和氮化铝钛等。此类陶瓷硬膜目前应用于刀具或模具上，不但可提高刀具表面耐磨性，且不失金属基材的韧性。随着近来机床技术的新突破，切削加工已走向高速化，以缩短切削时间和提高加工件表面精度。
为了配合高速加工、大量节省加工时间与成本，刀具的改进已成为重要的因素。碳化钨刀具因有较高耐磨性和硬度，在刀具市场上的比重日益增加。加工时要获得最佳效益必须选择适当的表面处理，中、重负荷模具需采用CVD高温镀钛，辅以精密真空热处理，才能达到可接受的变形量。此部分常用于冷锻冲模、油压抽引模、碳化钨抽线、抽管。在中、低负荷或精度要求严格的刀具、模具及机械配件的应用上，则以低温(150℃～500℃)PVD镀钛较为适当。
高铝含量的氮化铝钛很容易在硬膜的表面生成氧化铝。这一层氧化膜可使氮化铝钛陶瓷硬膜的耐氧化温度达摄氏923度，可保护碳化钨刀具高速切削加工时的刃口耐氧化和保持高温硬度。然而，氮化钛和碳氮化钛虽然在高温时亦会生成二氧化钛氧化膜，但却不易黏着在硬膜上而随切屑剥落，使硬膜缺乏保护，快速氧化、劣化。因此，无论高温或低温镀膜的表面处理都必须选择适当的底材及稳定的热处理，辅以表面细磨精抛的前处理，才能臻于完善。
